반도체 웨이퍼 모니터링시스템 (진동/ 온도/ 습도/ 경사/ 무선)

 반도체 웨이퍼 모니터링시스템 (진동/ 온도/ 습도/ 경사/ 무선)

 

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진동교육, 진동계측기, TPI, 진동진단, EI, phantom, wiser, acoustic cam, 가진기. 진동측정, 비틀림진동, 반도체진동

-      진동: 최대 1000Hz 샘플링, 최대 16G, 3축

-      각도 반응속도: 250~2000°/sec

-      온도: 0~60℃

-      습도: 0~100%RH

-      직경(300/200mm), 두께(4mm), 무게(242g)

-      무선 wifi, Sd card 16G, BT

-      밧데리 4hr(순수 작동시)

-      출력: CSV

-      분석기법(waveform, FFT power/density spectrum, trigger measuring, rms. peak hold, angle vector sum, trend analysis. Band filter)

-      반도체 로봇관련 모니터링에 활용

-      웨어퍼의 불량감소를 위한 감시에 회적

-      진동과 온도 습도 경사까지 모두 측정

-      전혀 저렴하지 않은 가격대

-      무선계측 and SD카드저장계측

-      대만 반도체 제작 생산라인 투입

-      반도체 생산라인 (웨이퍼 로봇, IC Stocker)

-      반도체 로봇(제작 및 수리 모니터링)

-      기타 정밀기계활용 (공작기계, 자동제어라인, 얇은 공간활용, 평면모니터링 등)

-      동영상 확인àhttps://www.youtube.com/watch?v=vf4x_u8JlK4&t=8s

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