반도체 웨이퍼 모니터링시스템 (진동/ 온도/ 습도/ 경사/ 무선)

 반도체 웨이퍼 모니터링시스템 (진동/ 온도/ 습도/ 경사/ 무선)

 

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-      진동: 최대 1000Hz 샘플링, 최대 16G, 3축

-      각도 반응속도: 250~2000°/sec

-      온도: 0~60℃

-      습도: 0~100%RH

-      직경(300/200mm), 두께(4mm), 무게(242g)

-      무선 wifi, Sd card 16G, BT

-      밧데리 4hr(순수 작동시)

-      출력: CSV

-      분석기법(waveform, FFT power/density spectrum, trigger measuring, rms. peak hold, angle vector sum, trend analysis. Band filter)

-      반도체 로봇관련 모니터링에 활용

-      웨어퍼의 불량감소를 위한 감시에 회적

-      진동과 온도 습도 경사까지 모두 측정

-      전혀 저렴하지 않은 가격대

-      무선계측 and SD카드저장계측

-      대만 반도체 제작 생산라인 투입

-      반도체 생산라인 (웨이퍼 로봇, IC Stocker)

-      반도체 로봇(제작 및 수리 모니터링)

-      기타 정밀기계활용 (공작기계, 자동제어라인, 얇은 공간활용, 평면모니터링 등)

-      동영상 확인àhttps://www.youtube.com/watch?v=vf4x_u8JlK4&t=8s

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진동센서에서 감도는 무엇인가? (Vibration Transducer Sensitivity)

진동센서에서 감도는 무엇인가? (Vibration Transducer Sensitivity)

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센서에서는 물리적인 신호인 진동을 전기적인 신호(Voltage or Current)로 변환해주어야 계측기에서 물리적인 신호의 크기와 위치로 환산할 수 있다. 따라서 측정하고자 하는 위치에 닿는 그 것은 사실 ‘센서’가 아닌 ‘변환기(Transducer)’라고 명칭하는 것이 맞다. 이 트랜스듀서(진동센서)의 종류와 진동의 진폭단위는 물리단위와 똑같이 구분되는데 그 값이 변위의 변화에 비례하는 것, 속도의 변화 그리고 가속도의 변화에 따라 비례하는 것으로 각각 존재한다.

진동센서(Vibration Transducer)의 감도

진동측정을 위해서 반드시 갖춰야 하는 것 중에서 센서의 선택을 빼놓을 수 가 없는데 센서를 선택하는 가장 첫 번째 기준은 감도(Sensitivity)일 것이다. 그리고 두 번째 기준은 센서의 선형성이 해당된다. 우선, 진동센서의 감도에 관한 사용 예를 정리하면 다음과 같다.

가속도센서(Accelerometer)는 사용이 매우 보편적이고 측정방법이 편리하여 매우 다양하게 사용되고 있으며 변위센서(Proximity probe)는 대형고속 슬리브베어링 타입의 실시간 모니터링시스템에 주로 사용된다. 속도센서(Velocity transducer)는 특정대역(10Hz이하)에 고유주파수가 있어서 사용이 제한적이고 매우 정밀하지만 고가이므로 사용이 보편적이지 못하다. 진동센서는 대체적으로 감도가 좋을수록(높을수록) 저주파 진동의 취득측정이 좋고 크기가 크고 가격이 비싸고 대신에 고주파 측정은 선형성이 좋지 못하다. 반면에 감도가 낮을수록 동적범위(Dynamic range)가 크고 센서의 크기가 작고 매우 고주파까지 선형성(Linearity)이 좋은 편이다. 여기서 감도는 센서의 최대진폭측정능력(동적범위)과도 관련이 있는데 예를 들어 5V의 출력을 가지는 센서이고 감도가 100mV/g라면 50g까지 측정할 수 있다는 뜻이다. 다시 말하면 측정하려는 진동이 50g이상으로 크게 나타나고 있었다면 하드웨어에서 구현되지 않으므로 소프트웨어에서도 보이지 않는 값(Over range)의 영역이 된다. 즉, 50g이상은 측정할 수 없다는 것을 의미한다.

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키워드	진동센서, 가속도센서, Accelerator, Transducer,, 진동센서감도

 

 

모니터링시스템 초음파 음향카메라 (소음원 추적 감시용)

 모니터링시스템 초음파 음향카메라 (소음원 추적 감시용)

 

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-      초음파대역 음향방출(AE)계측 음향카메라

-      주파수범위: ~100kHz

-      마이크로폰: 72 digital MEMS , 24bit

-      전원: 9~19V

-      방수: IP54

-      Max 120dB

-      출력: USB, LAN streaming

-      출력파일(MP4, Wav, Jpg)

-      분석기법(Acoustic-Optical picture, Spectrum, Sonogram, Audio, 측정중 마커 분석)

-      송변전  코로나, 기계 및 계전 이상음,  가스누출

-      감시와 분석을 동시에, 실시간 영상화면

-      개발된 임베디드와 소프트웨어를 통해 이벤트 자동화 검출

-      동급 획기적 가격대(S/W 포함)

-      주파수대역별 음향 이미지 분석

-      CAE-Systems Germany

-      소음원 분석 및 추적 (자동차, 정유 중화학공장, 제지, 전력, 가스, 에너지, 시멘트, 공작기계, 식품제조, 전자생산, 조립생산, 자동차, 조선 관련 사업체, 건물차폐음측정 및 생산라인, 보안)

-      소음진단 (Motor, Turbine, Pump, Compressor, Roll, Bearing, Fan, Blower, Generator, Paper, Petrochemical, Machine tool, Ship, Cement, Tire , Robot, Automobile, 건설현장, 학교, 연구소, 기타 분야)