적용사례- 반도체 웨이퍼 진동모니터링모듈의 활용-VSS
특수한 위치의 진동을 측정할 때 보편적인 센서나 데이터 측정장치를 사용하기 어렵다 라는 것을 알게 된다면 대상의 상태를 알 수 없다는 것을 의미한다. 아무리 고성능이고 내구성이 좋은 센싱 하드웨어이며 다양한 소프트웨어의 기능이 있더라도 대상의 거동에 맞는 측정장치가 별도로 필요하기 나름이다. 반도체의 웨이퍼, 그리고 그 이송로봇의 입장에서 본다면 어떨까? 측정할 수 있을까?
적용사례 (진동3축센서, 온도, 경사, 습도)
상상한대로 진동을 데이터로 측정자에게 잘 전달해 준다. 센서와 진동분석기가 일체로 3축 무선 센싱방식이므로 부착과 동시에 소프트웨어로 진동을 확인하여 볼 수 있다. 이제는 분석하면 된다.
- 동영상 확인à https://www.youtube.com/watch?v=vf4x_u8JlK4&t=8s
- 반도체 로봇관련 모니터링에 활용, 웨어퍼의 불량감소를 위한 감시에 회적, 진동과 온도 습도 경사까지 모두 측정, 무선계측 and SD카드저장계측
- 전혀 저렴하지 않은 가격대, 대만 반도체 제작 생산라인 투입품.
다음의 용도로 사용
- 반도체 생산라인 (웨이퍼 로봇, IC Stocker)
- 반도체 로봇(제작 및 수리 모니터링)
- 기타 정밀기계활용 (공작기계, 자동제어라인, 얇은 공간활용, 평면모니터링 등)
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